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成都弱電公司訊:
感光元件敏感度高、讀出雜訊(readoutnoise)少,也因此主導(dǎo)感光元件產(chǎn)業(yè)30余年。
然而,由于CMOS感光元件技術(shù)近年大幅升級(jí),強(qiáng)化解析度、讀出速度,降低雜訊、價(jià)格下降等優(yōu)勢(shì),導(dǎo)致許多感光元件市場(chǎng)區(qū)塊從CCD轉(zhuǎn)移至CMOS,包括生命科學(xué)、消費(fèi)市場(chǎng)以及監(jiān)控設(shè)備等等。
BAESystems、CMOSIS、Sony等公司紛紛砸下重金投資CMOS技術(shù),并大力行銷(xiāo),現(xiàn)在已有許多4MP以上、超過(guò)50fps,而電子讀出雜訊少的感光元件。不過(guò),CCD并非毫無(wú)用武之地,CCD技術(shù)在要求高敏感度與長(zhǎng)時(shí)間曝光的應(yīng)用環(huán)境下,無(wú)非是最佳選擇。
例如活體分子影像(invivoimaging)仰賴(lài)微弱的熒光訊號(hào),曝光時(shí)間達(dá)數(shù)分鐘甚至數(shù)小時(shí),便適合使用CCD感光元件。同樣的,需要長(zhǎng)時(shí)間曝光的天文應(yīng)用,例如觀星也以CCD技術(shù)為佳。隨著CCD售價(jià)持續(xù)下降、效能卻不變的情況下,可望成為中階市場(chǎng)熱門(mén)應(yīng)用。
若要回應(yīng)目前市場(chǎng)需求,CCD傳感器得改善更大波長(zhǎng)范圍下的敏感度。傳統(tǒng)CCD傳感器對(duì)于1,100nm以上波長(zhǎng)缺乏敏感度,使其無(wú)法運(yùn)用于短波紅外線(SWIR)鏡頭上。
不過(guò),最新InGaAs傳感器使用與CMOS傳感器類(lèi)似的讀出原理,在徹底冷卻的情況下,可增強(qiáng)1,100nm以上波長(zhǎng)的量子效率(quantumefficiency)、減少干涉現(xiàn)象(etaloning),提升讀出速度及敏感度。
另外,近年業(yè)界亦有號(hào)稱(chēng)敏感度最佳的電子倍增(ElectronMultiplication;EM)結(jié)構(gòu)CCD元件技術(shù),簡(jiǎn)稱(chēng)EMCCD。像是e2vTechnologies、德儀(TI)等廠商都推出速度更快、且能提供亞電子(sub-electron)讀出雜訊性能的傳感器,而安森美半導(dǎo)體(ONSemiconductor)也研發(fā)出新型高解析度EMCCD傳感器。
PrincetonInstruments近期推出一款高速EMCCD相機(jī),EMCCD傳感器透過(guò)影像增強(qiáng)器(imageintensifier),更可改善線性化(linearity)并具單一光子(photon)敏感度,成像速度高達(dá)10,000fps。不過(guò),盡管這樣的EMCCD具單一光子敏感度,在全解析度之下仍比不上CMOS感光元件的畫(huà)面更新率。
光譜儀業(yè)者HoribaScientific發(fā)現(xiàn),過(guò)去光學(xué)與成像技術(shù)利基市場(chǎng)的需求漸漸增加,目前已在許多領(lǐng)域成為尺度。HoribaScientific經(jīng)理指出,過(guò)去常用來(lái)作為研究工具與方法的技術(shù),現(xiàn)在已有較一般性的用途,例如品質(zhì)控管等等。
由于高效率偵測(cè)的需求愈來(lái)愈大,也愈來(lái)愈多人采CCD提供的多工陣列偵查(multiplexingarraydetection)取代傳統(tǒng)的單管道偵測(cè)器(single-channeldetector),廠商也挹注大量資源改善動(dòng)態(tài)范圍(intrascenicdynamicrange)技術(shù),成為CCD傳感器發(fā)展的驅(qū)力之一。
而若客戶(hù)要求加快讀取時(shí)間又不犧牲敏感度,則可采用時(shí)間延滯集成(TDI)CCD傳感器,這是較早期的CMOS傳感器版本無(wú)法取代的CCD關(guān)鍵技術(shù)。
TDI技術(shù)常見(jiàn)于產(chǎn)業(yè)與遠(yuǎn)端感測(cè)應(yīng)用,可在高速成像的條件之下提升訊雜比(Signal-to-NoiseRatio;SNR)。TDI傳感器可將分歧時(shí)間分點(diǎn)的感光訊號(hào)集成起來(lái),以達(dá)最佳雜訊效能。
分歧廠商用分歧方式整合TDI技術(shù)與CMOS,有的廠商直接整合CCD光感測(cè)元件(photosite)與CMOS影像傳感器,而也有廠商會(huì)將CCD光感測(cè)元件與CMOS讀出芯片制程分開(kāi),再將CCD與CMOS用3D-IC技術(shù)串接起來(lái)。
目前,推動(dòng)CCD感光元件技術(shù)應(yīng)用的市場(chǎng)區(qū)塊,包括光譜儀(spectroscopy)、超光譜成像(hyperspectralImaging)、生醫(yī)成像(biomedicalimaging)、顯微鏡、天文學(xué)、量子成像(quantumimaging)、X-ray成像、機(jī)器視覺(jué)(machinevision)等應(yīng)用。
綜上言之,CCD傳感器仍坐穩(wěn)光譜儀與影像研究應(yīng)用等優(yōu)勢(shì),雖然相機(jī)市場(chǎng)風(fēng)向轉(zhuǎn)移至CMOS,但是隨CCD制作成本降低、技術(shù)提升,可望打進(jìn)一般性中階市場(chǎng)與利基市場(chǎng)。